NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射

產品時間：2023-02-20

簡要描述：

NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射（標準品）為高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 社區提供了國際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射間距、表面到晶面晶片我們的參考波長在反射中的誤切和表面到硅 (004) 布拉格角

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標準參考材料® 2000

高分辨率 X 射線衍射校準標準

SRM 2000 高分辨率 SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射（標準品）SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射（標準品）X 射線衍

NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射本標準參考材料（SRM）為高分辨率X射線衍射（HRXRD）社區提供了國際單位制（SI）[1]可追蹤的SI（220）d間距，透射面到晶面晶片以及我們的參考波長的反射中的表面到Si（004）布拉格角。SRM 2000的一個單元包括標稱50 nm的25 mm×25 mm×0.725 mm雙拋光（100）取向單晶Si樣品Si0.85Ge0.15外延層和25nm Si帽。這些認證值可用于校準HRXRD儀器。

NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射表1。SRM 2000認證值

數量（a）認證值擴展不確定度（b），k=2時的U

dSRM 0.192 016 1 nm（22.5°C時）0.000 000 9 nm

ξSRM 4.360 mrad 0.027 mrad

fSRM–360 mrad 16 mrad

xSRM–1.534 mrad 0.072 mrad

ySRM 4.0810 mrad 0.019 mrad

θ表面，SRM（004）0.604 785 rad 0.000 076 rad

（a）數量的標識見表2。

（b）不確定度方法見[2-4]。

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